標準屈折率データベース
Subna’s database of standard reflactive index
Subna’s database of standard reflactive index
Subnaでは、屈折率n, k の標準データのデータベースを構築しています。標準データはこれまでに蓄積されてきた多数のデータを統計処理することで求めています。
データを波長依存性、エネルギー依存性としてまとめています。データの波長間隔、エネルギー間隔、データ形式は下図の通りです。
Subna is building a database of standard data for refractive indexes n and k. Standard data is obtained through statistical processing of a large amount of data that has been accumulated to date. Data is summarized as wavelength dependence and energy dependence. The wavelength interval, energy interval, and data format of the data are shown in the figure below.
これまでに以下に示す物質のデータベースを構築しています。CSV形式のデータを販売しています。データの比較や解析にお役立てできます。お問い合わせください。
To date, we have constructed a database of the substances listed below. We sell data in CSV format. It can be useful for data comparison and analysis. Please contact us.
Examples of database usage
1.金、銀、銅の光沢 (Gold, silver, copper luster)
標準屈折率の比較を行うことで、多くの知見が得られている。その一例を紹介する。メダルに用いられている金、銀、銅には他の金属にない特性があることがわかった。
Much knowledge has been gained by comparing standard refractive indices. Here is an example of this. It has been discovered that the gold, silver, and copper used in medals have properties not found in other metals.
それは、可視光の波長帯で急激な屈折率の減少がみられることである。右図は、金、銀。銅の屈折率 n と減衰係数 k の可視光領域での波長依存性をしましたものである。それぞれの物質で異なる波長で波長の増加に伴う n の急激な減少が認められている。
That is, there is a sharp decrease in the refractive index in the visible light wavelength range. The diagram on the right shows the wavelength dependence of gold and silver and copper's refractive index n and extinction coefficient k in the visible light region. A rapid decrease in n with increasing wavelength is observed for each material at different wavelengths.
右図は、標準屈折率データを用いた金、銀、銅の反射率の可視光領域の反射率の計算結果を示したものである。同図には可視光の波長スペクトルも図示している。銀は可視光のすべての波長で高い反射率を示している。これに対して金、銅は特定の波長から波長の増加に伴う反射率の増加が示されている。この波長選択性が、それぞれの物質の光沢を反映していることが羅解される。
The figure on the right shows the calculation results of the reflectance of gold, silver, and copper in the visible light region using standard refractive index data.
The same figure also shows the wavelength spectrum of visible light. Silver exhibits high reflectance at all wavelengths of visible light. On the other hand, it has been shown that the reflectance of gold and copper increases as the wavelength increases from a specific wavelength. It is understood that this wavelength selectivity reflects the gloss of each substance.
右図は、比較のために示した、Ptの n, kと反射率の計算結果である。金、銀、銅にみられる特異な波長依存性は認められない。
The figure on the right shows the calculation results of n, k and reflectance of Pt, shown for comparison. The peculiar wavelength dependence seen in gold, silver, and copper is not observed.
2.EUVフィルター (EUV filters)
EUV光源は、EUV光(13.5nm)以外の波長の光も発光し、装置の性能に影響を与える。とりわけ可視光の除去が求められる。ここでは可視光 (500nm) の除去に有効なフィルターを明らかにする。
EUV light sources also emit light of wavelengths other than EUV light, which affects the performance of the device. In particular, it is necessary to remove visible light. Here, we will explain filters that are effective in removing visible light (500 nm).
右図は、一例として、Zrの kから求めた線吸収係数の計算結果である。この図からEUV光(13.5nm)と可視光(500nm)の線吸収係数が読み取れる。
The figure on the right shows an example of the linear absorption coefficient calculated from the k of Zr. From this figure, the linear absorption coefficients for EUV light (13.5 nm) and visible light (500 nm) can be obtained.
右図は、種々の物質の13.5nmと500nmの波長における線吸収係数 μ の分布を示したものである。横軸は13.5nmにおけるμの逆数をとっている。すなわち、より右上方に行くほどフィルターとして有効になるように設定してる。
The figure on the right shows the distribution of linear absorption coefficients μ for various materials at wavelengths of 13.5 nm and 500 nm. The horizontal axis represents the reciprocal of μ at 13.5 nm. In other words, the further to the top right you go, the more effective the filter becomes.
右図は図中の式で定義したSFOM( Subna's Figure of merit)の分布を示したものである。フィルターとして有効とおもわれる Be, Rb, Srはアルカリ金属であり扱いが難しいため、次に有効なZrが最も現実的であることがわかる。
The figure on the right shows the distribution of Subna's Figure of Merit (SFOM) defined by the formula in the figure. Since Be, Rb, and Sr, which are thought to be effective as filters, are alkali metals and difficult to handle, Zr, which is the next most effective, is the most practical.
右図は、標準屈折率から求めたZrとBeの原子散乱因子の虚数部の比較を行ったものである。Zrでは、13.5nmは3d軌道と4s軌道の狭間にあり吸収が抑えられてる。Beでは1s軌道と2s軌道の間にあることと元々電子数は少ないことで、13.5nmでに吸収がさらに少なくなっている。両者とも500nmの吸収は自由電子のプラズマ効果によるため原子構造に依存していない。このため、両者のSFOMの差が生じてる。
The figure on the right compares the imaginary parts of the atomic scattering factors of Zr and Be calculated from the standard refractive index.
For Zr, absorption at 13.5 nm is suppressed because it is located between the 3d and 4s orbitals. For Be, absorption at 13.5 nm is even lower because it is located between the 1s and 2s orbitals and has a smaller electron count to begin with. For both, absorption at 500 nm is due to the plasma effect of free electrons and is not dependent on atomic structure. This is why the SFOM difference between the two occurs.
Database of standard refractive index
標準屈折率データ(グラフ)
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