EUV技術における物質科学の解説

Subna’s EUV commentary

ここでは、EUVミラーについて解説していく

ホームページで紹介したMo/Si多層膜ミラーを模式的に表したのが上図である。特定の角度で入射したEUV光はMo/Si界面で反射する。ここで、Mo,Si一周期を通過した場合にλ/2 (λ=13.5 nm) 位相が経過するように周期長を設定すると各界面での反射光の位相が揃い、反射率が高められる。MoとSiの屈折率差は小さいが、20周期以上の多層構造とすることで高い反射率が実現されるようにしている。以下ではEUV光に対する各物質の物性について解説する。

１．EUV光に対する各物質の屈折率パラメーターδ、β

https://drive.google.com/file/d/1gHVCDjOBsNc-Kw-ic91zc_X542iR--gG/view?usp=share_link

２、SiのEUV光に対する光学特性

https://drive.google.com/file/d/1IMhO-thUspyAmGifMhikThB-7aiZp1Rt/view?usp=share_link

３．ZrのEUV光に対する光学特性

https://drive.google.com/file/d/1GQSjOqDSRGIB0xu25n4CPil3A3lr5MhJ/view?usp=share_link

４．MoのEUV光に対する光学特性

https://drive.google.com/file/d/1t-Z70ZZhRR5Z-adtBlUarD3Oc2k2Ai04/view?usp=share_link

５．RuのEUV光に対する光学特性

https://drive.google.com/file/d/1_Sx4rI4Qwr2M2CSZyyi-QXpaM8cX3JMa/view?usp=share_link

６．第5周期金属の光学特性まとめ

https://drive.google.com/file/d/1R0z5SUVWE0IAIZOu6-pW55GREme5UPev/view?usp=share_lin